工学部 電気電子工学科
池永訓昭 研究室
IKENAGA Noriaki
LABORATORY
新しいプラズマ生成技術の開発と新しい機能性薄膜の開発
工具などの寿命改善用に代表される機能性硬質薄膜は医療や航空・宇宙へと応用分野を広げており、それに伴って薄膜に要求される機能性も多種多様になってきている。研究室ではこれら産業界のニーズに対応できる、プラズマを使った新しい機能性薄膜の開発とその応用技術の開発を行っている。また、他学科や地域と連携した活動にも積極的に参加している。
キーワード
- プラズマ
- 機能性薄膜
- ダイアモンドライクカーボン
- フィジカルセンサ
- プラズマ滅菌
研究紹介
RESEARCH
高耐熱なアモルファス状炭素系薄膜（a-C:H）の開発
研究内容
アモルファスカーボン膜の代表として知られるDLC(Diamond Like Carbon)膜は産業応用が盛んな炭素系薄膜のひとつである。DLC膜は主として摺動用機械部品（低摩擦・高硬度）に応用されているが、耐熱温度が他の硬質薄膜に比べて低い（400℃）という問題があるため用途が限定されているのが現状であった。本研究ではDLC膜に種々の元素を添加することによって、DLC膜が本来持つ特性（低摩擦・高硬度）を損なうことなくさらに高耐熱（1000℃を目標）なDLC膜の実現に向けて研究を行なっている。
現在までのところ600℃までの耐熱性を持ったDLC膜の作製に成功しており、今後はこのメカニズムの解明とさらなる機能性発現の探求を目指している。これと並行してDLC膜に種々の元素を添加するための簡便な成膜プロセスの開発も行っている。
教員紹介
TEACHERS
池永訓昭 教授・博士（工学）
略歴
専門分野
専門：湿度センサ、表面改質、プラズマ制御、PBII&D、強誘電体薄膜、形状記憶合金薄膜、多機能薄膜、アモルファスカーボン薄膜、プラズマ計測、プラズマ
担当科目
電気回路基礎 電気回路Ⅰ プロジェクトデザイン入門（実験）(電気電子工学科) プロジェクトデザインⅢ(池永訓昭研究室) 電気回路Ⅱ プロジェクトデザイン実践（実験）（電気電子工学科） エネルギー材料・デバイス工学研究（池永訓昭） エネルギー材料・デバイス統合特論
研究業績
RESEARCH RESULTS
論文
- X-ray induced reduction of Sm3+ into Sm2+ in Li2CaSiO4 and its potential for radiation measurement applications
- Structural evaluation of GaAs1−Bi obtained by solid-phase epitaxial growth of amorphous GaAs1−Bi thin films deposited on (0 0 1) GaAs substrates
- 電気電子工学科の「プロジェクトデザイン入門（実験）」における実験動画教材の活用
- Growth of indium-incorporated κ-Ga2O3 thin film lattice-matched to the ε-GaFeO3 substrate
- Plan-view TEM observation of a single-domain κ-Ga2O3 thin film grown on ε-GaFeO3 substrate using GaCl3 precursor by mist chemical vapor deposition
- Single-Domain and Atomically Flat Surface of κ-Ga2O3Thin Films on FZ-Grown ϵ-GaFeO3Substrates via Step-Flow Growth Mode
- Structural evaluation of low-temperature-grown InGaAs crystals on (0 0 1) InP substrates
- Crystalline quality of low-temperature-grown In Ga1−As coherently grown on InP(0 0 1) substrate
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